[发明专利]一种金属薄膜微米尺度热电偶器件无效
| 申请号： | 201110241103.3 | 申请日： | 2011-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102419217A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 孙伟强;刘海啸;许胜勇 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01K7/04 | 分类号： | G01K7/04 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属薄膜微米尺度热电偶器件，该热电偶器件包括绝缘基片，在绝缘基片上附着有一金属薄膜热电偶或多个金属薄膜热电偶构成的热电偶阵列，其中金属薄膜热电偶为单种金属的两条对折薄膜，其中，窄条带的宽度小于20微米，另一条宽条带的宽度大于100微米。与现有技术相比，本发明是一种制备简易，能够实现对微米尺度的局域温度进行测量的热电偶器件。并通过组合成阵列形式使用，可以实现对与热电偶阵列所接触的平面上的温度分布进行表征。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 薄膜 微米 尺度 热电偶 器件 | ||
【主权项】：
一种热电偶器件，包括绝缘基片，在绝缘基片上附着有金属薄膜热电偶或多个金属薄膜热电偶构成的热电偶阵列，其特征在于，所述金属薄膜热电偶为单种金属的两条对折薄膜，其中，窄条带的宽度小于20微米，另一条宽条带的宽度大于100微米。
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