[发明专利]一种蜂窝式束流均匀性检测装置无效
| 申请号： | 201110241142.3 | 申请日： | 2011-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102956424A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 胡宝富;唐景庭;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304;H01J37/317;G01T1/29 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于离子注入机的束流均匀性检测的装置。一种离子注入机可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种检测束流均匀性装置。该装置主要包括：束流收集面板(1)、齿条(2)、电机固定块(3)、齿轮(4)等。该装置特征在于，束流收集面板(1)采用蜂窝式排列束流收集框，每一个束流收集框均可以独立检测束流大小；该装置特征还在于可以检测离子束流在聚焦情况下的束斑剖面密度分布和扫描情况下的束均匀性分布，尤其可以检测宽带束流或扁状带束。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蜂窝 式束流 均匀 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种用于离子注入机的离子束流均匀性检测装置，其中离子注入机可以产生宽带束或扁状带束，该装置为使其正常工作提供一种束流均匀性检测装置。该装置主要包括：束流收集面板(1)、齿条(2)、电机固定块(3)、齿轮(4)等。
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