[发明专利]三维形状测量装置

摘要

一种三维形状测量装置，上面触头(1a)能够利用气动滑块1沿XY方向不振动地扫描测量测量物(7)的上面(7a)，利用第一反射镜(1b)和透镜(2de)还能够精度良好地测量Z坐标，侧面触头(2ia)只在XY方向上能够位移而在Z方向不振动，因此能够扫描测量测量物侧面(7b)，侧面触头(2ia)的Z坐标测量利用所述第一反射镜(1b)的Z坐标测量值，能够更高精度地用倾斜角度测量部(2j)测量侧面触头的XY位移。

主权项

一种三维形状测量装置，其中，包括：第一可动部，其具有沿Z方向配置的气动滑块、配置在所述气动滑块一端的上面触头、分别配置在所述气动滑块另一端的第一反射镜和弹力产生部；第二可动部，其至少具有使该第一可动部沿所述Z方向移动的所述气动滑块的导向部、支承所述弹力产生部而悬吊支撑所述第一可动部的弹力支撑部；支撑部，其以所述第二可动部能够沿所述Z方向移动的状态连结支撑所述第二可动部；Z驱动部，其相对于所述支撑部沿所述Z方向驱动所述第二可动部；相对位置测量部，其测量所述第一可动部和所述第二可动部的相对位置；Z2坐标检测部，其将来自稳态激光光源的稳态激光向所述第一反射镜照射，由来自所述第一反射镜的反射光测量所述上面触头的Z方向移动量；XY驱动部，其沿垂直于所述Z方向的X方向及Y方向驱动所述支撑部或测量物；XY坐标检测部，其测量所述XY驱动部对所述支撑部或所述测量物的XY方向移动量，而检测X坐标和Y坐标；可动倾斜部，其在所述第二可动部上配置在从所述上面触头配置在所述第二可动部上的位置向所述X方向或Y方向离开的位置，一端具有侧面触头，利用连结机构将所述侧面触头相对于所述Z方向能够倾斜地连结在所述第二可动部上；倾斜角度测量部，其测量所述可动倾斜部的倾斜角度；侧面触头位移检测部，其由所述倾斜角度测量部获得的所述倾斜角度计算出所述侧面触头相对于所述第二可动部的X位移和Y位移；和测量点位置运算机构，在由所述XY坐标检测部检测出的所述X坐标及Y坐标上，加上由所述侧面触头位移检测部计算出的所述侧面触头的X位移和Y位移，计算出所述侧面触头对所述测量物的测量点的X坐标及Y坐标。