[发明专利]一种钨旋转镀膜的溅射管靶的制作工艺有效
申请号: | 201110242640.X | 申请日: | 2011-08-23 |
公开(公告)号: | CN102277558A | 公开(公告)日: | 2011-12-14 |
发明(设计)人: | 张灵杰 | 申请(专利权)人: | 洛阳科威钨钼有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F3/16;B22F3/24;C22F1/18 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 李宗虎 |
地址: | 471003 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种钨旋转镀膜的溅射管靶的制作工艺,采用钨粉为原料,首先将原料装入橡胶模套内,制备成空心的粉质钨管坯,然后采用冷等静压机成型,后将成型后的固体管坯放入中频烧结炉中,成型坯体备用:将成型坯加热到1300°-1700°,加热时间为1-3小时,取出后采用空气锤进行锻打直至锻打成钨棒,后进行镗孔、车外圆,使表面粗糙度达到Ra1.6~Ra3.2µm后,溅射管靶制作完成。本方法制作工艺简单,对设备要求不高,因此投入成本较低,制备出的靶材致密性较好,相对密度达到99%以上。 | ||
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【主权项】:
一种钨旋转镀膜的溅射管靶的制作工艺,其特征在于:采用钨粉为原料,钨粉的纯度≥99.95%,粒度在2.6—3.3μm,制作步骤如下:步骤一、将原料装入橡胶模套内,制备成空心的粉质钨管坯,然后采用冷等静压机成型,压力为50—400Mpa,10—20分钟后固体管坯成型;步骤二、将成型后的固体管坯放入中频烧结炉中,炉内通入氢气,加热温度为1900°,加热时间为30个小时,后采用水循环降温,8—16小时后冷却至室温完成,成型坯体备用;步骤三、将步骤二处理后的成型坯加热到1300°—1700°,加热时间为1—3小时,取出后以冲击力为750公斤的空气锤进行锻打10—20次,锻打成钨棒后放入电热炉中回火半个小时,回火温度为450°—500°,后备用;步骤四、将步骤三处理后的钨棒进行机械加工,镗孔、车外圆,使表面粗糙度达到Ra1.6~Ra3.2µm后,溅射管靶制作完成。
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