[发明专利]记录太阳能晶片制程履历的方法及系统

摘要

一种记录太阳能晶片制程履历的方法，使用于太阳能晶片的串列式连续生产线，包括：在串列式连续生产线预设多个制程站，并在每一个制程站至少设有一个计数器；计算太阳能晶片通过各计数器的时间，并依据计数器的晶片计数，建立每一片太阳能晶片的晶片序号，以得到晶片序号及时间的关系；记录所述这些制程站的制程参数与时间的关系；及同步化所述制程站的制程参数及晶片序号所对应的时间，以得到太阳能晶片的制程履历。采用本发明的记录太阳能晶片制程履历的方法及系统，方法简单，成本低廉，可整合于原先的制程中使用，达到对太阳能晶片的制程参数做追踪，以排除异常或最佳化制程的目的。

主权项

一种记录太阳能晶片制程履历的方法，使用于太阳能晶片的串列式连续生产线，其特征在于，所述方法包括：在所述串列式连续生产线预设多个制程站；在所述这些制程站中或所述这些制程站进出端预设至少一个计数器；计算每一片太阳能晶片通过各所述这些计数器的时间，并依据所述这些计数器的晶片计数，建立每一片太阳能晶片的晶片序号，以得到所述这些晶片序号及时间的关系；记录所述这些制程站的制程参数与时间的关系；以及同步化所述这些制程站的制程参数及所述晶片序号所对应的时间，以得到每一片太阳能晶片的制程履历。