[发明专利]一种直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置

摘要

本发明涉及一种直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其包括激光泵浦源、直接倍频器件和真空罐系统；采用窄线宽全固态激光泵浦源泵浦具有深紫外激光输出能力的非线性光学晶体，通过直接倍频方法获得波长小于190nm、可实用化、波长可调谐的窄线宽深紫外激光源，具有效率高、最小波长短、可实用化、波长可调谐以及线宽窄、光谱亮度高的优点。针对目前无法获得波长小于190nm、可实用化、波长可调谐的窄线宽深紫外激光源的问题。

主权项

一种直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其包括激光泵浦源、直接倍频器件和真空罐系统；所述直接倍频器件为具有深紫外非线性光学变频输出能力的倍频器件，该直接倍频器件由深紫外倍频晶体、第一匹配材料和第二匹配材料组成，深紫外倍频晶体为薄片状晶体，第一匹配材料和第二匹配材料为直角棱柱，所述深紫外倍频晶体光胶于所述第一匹配材料和第二匹配材料的斜边面上；其特征在于，所述激光泵浦源为高光束质量、窄线宽的全固态紫外激光源，高光束质量指光束质量因子M2小于5，窄线宽指线宽小于10pm，紫外指200～400nm波段；所述真空罐系统由密封罐体、置于所述密封罐体罐壁上的入射窗口和出射窗口组成，所述密封罐体内抽真空或充填惰性气体气氛；所述的倍频器件放置在真空罐系统的密封罐体中，确保直接倍频器件在真空或惰性气体气氛中进行倍频产生窄线宽深紫外激光，防止深紫外激光被空气吸收；激光泵浦源产生的紫外激光从入射窗口进入真空罐系统的密封罐体，由第二匹配材料的直角边垂直入射，然后通过深紫外倍频晶体进行直接倍频，产生深紫外激光和剩余的紫外激光经过匹配材料后在深紫外激光传播方向上设置的出射窗口出射，深紫外激光在出射窗口输出。