[发明专利]太阳电池前电极激光加工方法及装置

摘要

本发明公开了一种太阳电池前电极激光加工方法及装置，本发明采用激光器作为加工光源，通过激光扩束聚焦系统，获得精细的聚焦光束，利用二维位移工作平台走出电极图案路径，采用激光在硅片表面刻划细线，利用材料对激光不同的吸收特性，刻蚀去除氮化硅膜层而不伤及PN结；在刻划的细线上通过电镀技术制作电极，实现对电流的收集与输运。激光加工结合电镀技术制作太阳电池前电极，降低了副栅线的宽度，即减少了电极遮光面积，因而非常有效地提高了电池效率。

主权项

一种太阳电池前电极激光加工方法，其特征在于，该方法步骤为：采用PECVD法在晶体硅表面沉积一层既起到减反射作用又能达到钝化的效果的氮化硅薄膜；根据氮化硅薄膜和晶体硅材料对激光波长的不同吸收系数，控制激光能量并与加工速度相匹配，使激光在晶体硅表面加工细线，刻蚀去除氮化硅薄膜，使下面的PN结裸露在外，刻蚀的图案即为太阳电池前电极图案；采用常规的电镀法在晶硅前表面形成金属化电极，实现对电流的收集与输运。