[发明专利]一种超低频精密主动减振器

摘要

本发明提供了一种结构紧凑的超低频精密主动减振器，属于超精密减振领域。该超低频精密主动减振器由负刚度机构与空气弹簧并联组成被动减振单元，由洛伦兹直线作动器构成主动减振单元。负刚度机构是由片弹簧、铰链和刚性杆等组成的压杆结构。负刚度机构安装在空气弹簧的腔室内部，使减振器结构更加紧凑。正负刚度并联使得减振器具有大的承载力的同时具有极低的刚度，大大地降低了其固有频率。洛伦兹直线作动器用于提供主动阻尼，实现主动控制。本发明所提供的超低频精密主动减振器具有极低的固有频率，不仅对高频振动干扰具有良好的隔振效果，还能有效地隔离超低频振动，适用于对振动敏感的超精密加工与测量设备。

主权项

一种超低频精密主动减振器，其特征在于，该减振器包含主动减振单元与被动减振单元，主动减振单元与被动减振单元并联；主动减振单元包括洛伦兹直线作动器，被动减振单元由负刚度机构与空气弹簧并联组成，负刚度机构安装在空气弹簧的腔室内部。