[发明专利]一种太赫兹或红外微测辐射热计及其制作方法

摘要

本发明公开了一种太赫兹或红外微测辐射热计，包括用于非制冷太赫兹探测器或非制冷红外探测器的微测辐射热计的微桥结构，该微桥结构中的热敏电阻材料和光吸收材料为氧化钒－富勒烯两元复合薄膜、或者是氧化钒－富勒烯－碳纳米管三元复合薄膜当中的一种。这种氧化钒复合膜分别由两维氧化钒与零维富勒烯两种成分、或者是两维氧化钒与零维富勒烯和一维碳纳米管三种成分相复合而成，该微测辐射热计及其制备方法能克服现有技术中所存在的缺陷，提高了器件的工作性能，适宜大规模产业化生产。

主权项

一种太赫兹或红外微测辐射热计，包括微桥结构，其特征在于，该微桥结构为三层夹心结构：最底层为一层非晶氮化硅薄膜，作为微桥的支撑与绝缘材料；中间层为一层或者多层热敏电阻材料和光吸收材料层；表层是一层非晶氮化硅薄膜，作为热敏薄膜的钝化层以及微桥应力的调控层；所述热敏电阻材料和光吸收材料层为氧化钒‑富勒烯两元复合薄膜或氧化钒‑富勒烯‑碳纳米管三元复合薄膜当中的一种，所述氧化钒‑富勒烯两元复合薄膜是由二维氧化钒与零维富勒烯两种成分相复合而成，所述氧化钒‑富勒烯‑碳纳米管三元复合薄膜是由两维氧化钒和零维富勒烯以及一维碳纳米管三种成分相复合而成。