[发明专利]感光性树脂组合物有效

专利信息
申请号: 201110250770.8 申请日: 2011-08-29
公开(公告)号: CN102385248A 公开(公告)日: 2012-03-21
发明(设计)人: 井上胜治;村上元彦 申请(专利权)人: 住友化学株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/027
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 蒋亭
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种图案,其使用包含下述(A)、(B)、(C)、(D)及(E)的感光性树脂组合物而得到,兼备高耐热性及高防水性的。所述感光性树脂组合物包含:(A)共聚物,所述共聚物包含:源于选自由不饱和羧酸及不饱和羧酸酐构成的组中的至少一种的结构单元和源于具有碳原子数2~4的环状醚结构的不饱和化合物的结构单元(其中,不含源于具有碳原子数4~6的全氟烷基的不饱和化合物的结构单元);(B)聚合物,所述聚合物包含源于具有碳原子数4~6的全氟烷基的不饱和化合物的结构单元;(C)聚合性化合物;(D)聚合引发剂;(E)溶剂。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,其包含下述(A)、(B)、(C)、(D)及(E),(A)共聚物,其包含源于选自由不饱和羧酸及不饱和羧酸酐构成的组中的至少一种的结构单元和源于具有碳原子数2~4的环状醚结构的不饱和化合物的结构单元,且不包含源于具有碳原子数4~6的全氟烷基的不饱和化合物的结构单元;(B)聚合物,其包含源于具有碳原子数4~6的全氟烷基的不饱和化合物的结构单元;(C)聚合性化合物;(D)聚合引发剂;(E)溶剂。
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