[发明专利]影像感测晶片封装体及其形成方法有效
申请号: | 201110250951.0 | 申请日: | 2011-08-26 |
公开(公告)号: | CN102386197A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 黄玉龙;洪子翔;何彦仕 | 申请(专利权)人: | 精材科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种影像感测晶片封装体及其形成方法,该方法包括:提供基底,该基底定义有多个预定切割道,所述预定切割道于该基底划分出多个元件区,所述元件区中分别形成有至少一元件;将支撑基板设置于该基底的第一表面上;于该支撑基板与该基底之间形成至少一间隔层,该间隔层与所述预定切割道重叠;于该基底的第二表面上形成封装层;于该基底的该第二表面上形成多个导电结构,所述导电结构分别电性连接至所述元件区中对应的元件;以及进行切割制程,该切割制程包括沿着所述预定切割道切割该支撑基板、该间隔层及该基底,使该支撑基板自该基底脱离,并使该基底分离成多个影像感测晶片封装体。本发明可缩减晶片封装体的尺寸且具有较佳的感光品质。 | ||
搜索关键词: | 影像 晶片 封装 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种影像感测晶片封装体的形成方法,其特征在于,包括:提供一基底,该基底定义有多个预定切割道,所述预定切割道于该基底划分出多个元件区,所述元件区中分别形成有至少一元件;将一支撑基板设置于该基底的一第一表面上;于该支撑基板与该基底之间形成至少一间隔层,该间隔层与所述预定切割道重叠;于该基底的一第二表面上形成一封装层;于该基底的该第二表面上形成多个导电结构,所述导电结构分别电性连接至所述元件区中对应的元件;以及进行一切割制程,该切割制程包括沿着所述预定切割道切割该支撑基板、该间隔层及该基底,使该支撑基板自该基底脱离,并使该基底分离成多个彼此分离的影像感测晶片封装体。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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