[发明专利]一种单面控制多电极簇数字微流体芯片

摘要

本发明属于微电子生物芯片技术领域，具体为一种单面控制多电极簇数字微流体芯片。在该芯片具体结构包括下层核心部件和一个上层接地部件；下层核心部件包括呈横纵网格交错且位于同一块基板上的二维条状电极簇阵列，位于横向电极簇阵列和纵向电极簇阵列之间设有电极绝缘层。控制基板上横纵分布的条状电极尺寸远小于液滴尺寸，通过多个电极形成电极簇同时给液滴加电从而控制液滴沿早与电极簇垂直的方向运动。本发明可使得液滴在芯片上的运动更光滑和顺畅。

主权项

一种单面控制多电极簇数字微流体芯片，其特征在于具体结构包括一个下层核心部件和一个上层接地部件；所述下层核心部件包括：呈横纵网格交错且位于同一块基板上的二维条状电极阵列，位于横向电极阵列和纵向电极阵列之间、用于两层电极阵列绝缘的电极绝缘层，在所述基板与所述二维条状电极阵列之间的第一基底绝缘层，覆盖在所述二维条状电极阵列上的表面绝缘层，及覆盖在所述表面绝缘层上的第一疏水层；所述横纵交错分布的条状电极尺寸及电极间距远小于液滴的尺寸；所述上层接地部件的结构从上至下依次为透明基板，覆盖在所述透明基板下方的接地电极平板，覆盖在所述接地电极平板下方的第二疏水层；被控制液滴在上层接地部件与下层的核心部件中间的夹层中运动。