[发明专利]具有高矩形度透过率曲线的红外带通滤光片无效

专利信息
申请号: 201110252369.8 申请日: 2011-08-30
公开(公告)号: CN102269835A 公开(公告)日: 2011-12-07
发明(设计)人: 张麟;刘定权;李斌;倪榕;黄春 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G02B5/20 分类号: G02B5/20
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种具有高矩形度透过率曲线的红外带通滤光片,该滤光片以锗为基底,硒化锌及碲化铅为膜层材料,采用真空薄膜沉积方法制备,主膜系采用五个谐振腔精密膜系结构。它由正面膜系、基板和背面膜系组成,具有良好的带通透过性能,能抑制其他波段光学辐射干扰。其应用于空间红外扫描辐射仪器上,满足对大气目标红外辐射量的检测要求。
搜索关键词: 具有 矩形 透过 曲线 外带 滤光
【主权项】:
一种具有高矩形度透过率曲线的红外带通滤光片,它由正面膜系(1)、基板(2)和背面膜系(3)组成,在基板(2)的正面和背面二个面上分别交替蒸镀硒化锌膜层及碲化铅膜层构成正面膜系(1)和背面膜系(3),其特征在于:所述正面膜系(1)的膜系结构为:Ns|L2HLHL2HLH3L4H3LHL2HLHL2HLHL|No所述背面膜系(3)的膜系结构为:Ns|[0.26(0.5LH0.5L)]6|[0.39(0.5LH0.5)]6|[0.65(0.5LH0.5L)]4|9.7L|No膜系中:Ns表示基板,No表示空气,L表示厚度为λ0/4硒化锌膜层,H表示厚度为λ0/4碲化铅膜层,λ0为中心波长,H、L前的2、3、4、0.5和9.7以及膜堆前的0.26、0.39和0.65数字为该膜层的厚度系数,膜堆上的指数6和4为膜堆镀膜的周期数。
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