[发明专利]激光退火片台装置

摘要

本发明公开一种激光退火片台装置，包括：底座、炉壳、加热组件、隔热组件、托盘和卸片组件。炉壳内限定有炉腔，炉腔的上表面敞开，炉壳支撑在底座上；加热组件设在炉腔内；隔热组件设在加热组件与炉壳的内壁之间；托盘设在炉壳的顶面上且设有沿托盘轴向贯通的通孔；卸片组件设在底座上且位于炉壳与底座之间，卸片组件包括多个顶针和驱动组件，驱动组件用于驱动多个顶针沿上下方向移动以便每个顶针能够向上穿过对应的通孔向上伸出托盘的上表面。根据本发明的激光退火片台装置结构简单，对硅晶片加热均匀。在安放、卸载硅晶片时卸片组件起到辅助作用，使安放、卸载硅晶片更加方便。

主权项

一种激光退火片台装置，其特征在于，包括：底座；炉壳，所述炉壳内限定有炉腔，所述炉腔的上表面敞开，所述炉壳支撑在所述底座上；加热组件，所述加热组件设在所述炉腔内；隔热组件，所述隔热组件设在所述加热组件与所述炉壳的内壁之间；托盘，所述托盘设在所述炉壳的顶面上且设有沿托盘轴向贯通的通孔；和卸片组件，所述卸片组件设在所述底座上且位于所述炉壳与所述底座之间，所述卸片组件包括多个顶针和驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述多个顶针沿上下方向移动以便每个所述顶针能够向上穿过对应的所述通孔向上伸出所述托盘的上表面。