[发明专利]光声光谱气体传感器有效
申请号: | 201110257022.2 | 申请日: | 2011-08-26 |
公开(公告)号: | CN102954948A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 高晓明;易红明;刘锟;孙善文;谈图;汪磊 | 申请(专利权)人: | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/39 | 分类号: | G01N21/39;G01N21/01 |
代理公司: | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人: | 任岗生;王挺 |
地址: | 230031*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种光声光谱气体传感器。它包括与光源(1)、石英音叉(13)配接的电路,特别是声谐振腔(6)由主管(11)和支管(12)垂直连通构成,主管(11)的管轴线与光路(2)同轴,其管长为4.57~7.87mm、管内直径为0.4~1.5mm,支管(12)的管长为1~2mm、管内直径为0.4~0.5mm,聚焦透镜(4)的焦点位于主管(11)与支管(12)的连通处,石英音叉(13)的音叉臂(131)平面和狭缝中心分别与支管(12)的轴线相垂直和位于轴线上,且音叉臂(131)平面与支管(12)末端口之间的距离为20~50μm,石英音叉(13)的音叉臂(131)狭缝的宽度为0.28~0.32mm,其共振频率为31.768~33.768kHz。它最大效率地实现了光激发声波能量和石英音叉之间的耦合,可用于探测痕量气体领域。 | ||
搜索关键词: | 声光 气体 传感器 | ||
【主权项】:
一种光声光谱气体传感器,由光源(1)光路(2)上的聚焦透镜(4)和声谐振腔(6),以及置于声谐振腔(6)侧开口处的石英音叉(13),与光源(1)、石英音叉(13)配接的电路组成,其特征在于:所述声谐振腔(6)为T形,所述T形声谐振腔(6)由主管(11)和支管(12)垂直连通构成,所述主管(11)的管轴线与光源(1)光路(2)同轴,其管长为4.57~7.87mm、管内直径为0.4~1.5mm,所述支管(12)的管长为1~2mm、管内直径为0.4~0.5mm;所述聚焦透镜(4)的焦点位于主管(11)与支管(12)的连通处;所述石英音叉(13)的音叉臂(131)平面和狭缝中心分别与支管(12)的轴线相垂直和位于轴线上,且音叉臂(131)平面与支管(12)末端口之间的距离为20~50μm;所述石英音叉(13)的音叉臂(131)狭缝的宽度为0.28~0.32mm,其共振频率为31.768~33.768kHz。
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