[发明专利]多晶硅生产中回收氯化氢的脱吸塔热能利用系统有效
申请号: | 201110257315.0 | 申请日: | 2011-09-01 |
公开(公告)号: | CN102431972A | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 张高博;黄小亮;陈继;庄恒亚 | 申请(专利权)人: | 上海优华系统集成技术有限公司;广州市优华过程技术有限公司 |
主分类号: | C01B7/07 | 分类号: | C01B7/07 |
代理公司: | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人: | 刘伍堂 |
地址: | 200127 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及多晶硅尾气回收技术领域,具体地说是一种多晶硅生产中含有H2、HCl的还原尾气的脱吸塔换热网络的热能利用系统,其特征在于:HCl脱吸塔底部的高温氯硅烷贫液出料一路返回HCl脱吸塔内,另一路与65~75℃的水先进行换热再与吸收塔出来的经第一进料换热器换热至15~30℃的低温氯硅烷富液进行换热后再进入循环水冷却器进一步换热到40~45℃后经输送泵分两路输出;第一进料换热器换热出来后的15~30℃的低温氯硅烷富液再与70~90℃氯硅烷贫液进一步换热升温至55~75℃后再进入HCl脱吸塔上部的氯硅烷富液进口。本发明同现有技术相比,减少了再沸器的热能使用量和循环水冷却器消耗的循环水的用量。 | ||
搜索关键词: | 多晶 生产 回收 氯化氢 脱吸塔 热能 利用 系统 | ||
【主权项】:
一种多晶硅生产中回收氯化氢的脱吸塔热能利用系统,采用换热网络进行换热利用,其特征在于换热网络采用改进的换热网进行如下换热步骤:HCl脱吸塔(T2)底部115~140℃的高温氯硅烷贫液分两路出料,一路返回HCl脱吸塔(T2)塔底的再沸器(H)后重新进入HCl脱吸塔(T2)内,另一路通过热水换热器(E1)与来自冷冻站(E3)的65~75℃的水先进行换热,65~75℃的水换热后升温为90~100℃的热水返回到冷冻站(E3)的进水管道接口,换热后被冷却至70~90℃的氯硅烷贫液进入进料换热器(E2)的壳程与吸收塔(T1)出来的经第一进料换热器(E0)换热至15~30℃的低温氯硅烷富液进行换热,换热后降温至40~50℃的氯硅烷贫液再进入循环水冷却器(C1)进一步换热降温到40~45℃后经输送泵(P)分两路输出,输送泵(P)一路排出多余的氯硅烷贫液,输送泵(P)另一路将氯硅烷贫液输送至第一进料换热器(E0)的壳程与吸收塔(T1)塔底部出来的‑30~‑40℃低温氯硅烷富液换热并降温至‑15~‑20℃后,再经氟利昂冷却器(C2)深冷到‑35~‑45℃后进入吸收塔(T1)上部的氯硅烷贫液进口;第一进料换热器(E0)换热出来后的15~30℃的低温氯硅烷富液再进入进料换热器(E2)的管程与进料换热器(E2)壳程内的70~90℃氯硅烷贫液进一步换热升温至55~75℃后,55~75℃的氯硅烷富液再进入HCl脱吸塔(T2)上部的氯硅烷富液进口。
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