[发明专利]一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统无效
| 申请号： | 201110258114.2 | 申请日： | 2011-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN102426270A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 赵华波;林峰;朱星 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18;G02B7/04 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 张肖琪 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统，属于近场光学仪器制造领域。该低温SNOM的光学系统包括激光器、照明光纤、粗逼近步进马达、光学聚焦镜、音叉、针尖光纤、光谱仪和光电倍增管，粗逼近马达的移动部件为石英三棱柱，石英三棱柱的中心设有通孔，照明光纤穿过该通孔，光学聚焦镜固定在石英三棱柱的下表面，光学聚焦镜包括上下两个光学共轴的透镜，针尖光纤与音叉固定在光学聚焦镜下方，针尖光纤穿过光学聚焦镜后从镜筒侧壁开孔引出，通过光纤导入到光谱仪和光电倍增管。本发明无须再外加开放光路，使得真空腔体里光路调节简化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 扫描 近场 光学 显微镜 光学系统 | ||
【主权项】：
一种低温SNOM的光学系统，其特征在于，包括激光器、照明光纤、粗逼近步进马达、光学聚焦镜、音叉、针尖光纤、光谱仪和光电倍增管，粗逼近马达的移动部件为石英三棱柱，石英三棱柱的中心设有通孔，照明光纤穿过该通孔，光学聚焦镜固定在石英三棱柱的下表面，光学聚焦镜包括上下两个光学共轴的透镜，针尖光纤与音叉固定在光学聚焦镜下方，针尖光纤穿过光学聚焦镜后从镜筒侧壁开孔引出，通过光纤导入到光谱仪和光电倍增管。
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