[发明专利]检查装置

摘要

本发明提供一种可使用透射照明来高效且适当地检查在保持于环状部件的带上粘贴的检查对象物的检查装置。检查装置（10）具备：观察光学系统（11）、反射照明机构（12）、透射照明机构（14）、和可在保持粘贴有检查对象物（44）的带（42）的环状部件（43）的内侧从透射照明机构（14）侧保持带（42）的筒状的保持台（34）。透射照明机构（14）具有从保持台（34）的外侧向观察面（Fp）射出从光源（51）导光的透射光的射出部（53），在保持台（34）具有：透射部件（35），其呈在观察光学系统侧设有规定沿着观察面（Fp）的平面的平坦面（35a）的板状，而且允许从射出部（53）射出的透射光的透射；位置调整机构（37、38），其以可相对于保持台（34）进行有关观察光轴（Oa）方向的位置调整的方式保持透射部件（35）。

主权项

一种检查装置，其具备：观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对所述观察面进行照明；透射照明机构，其从所述观察光学系统的相反侧对所述观察面进行照明；以及保持台，其能在保持粘贴有检查对象物的带的环状部件的内侧从所述透射照明机构侧保持所述带，其特征在于，所述透射照明机构具有从所述保持台的外侧向所述观察面射出从光源导光的透射光的射出部，所述保持台具有：透射部件，其呈在所述观察光学系统侧设有规定沿着所述观察面的平面的平坦面的板状，而且允许从所述射出部射出的透射光的透射；以及位置调整机构，其以能相对于所述保持台进行有关观察光轴方向的位置调整的方式保持所述透射部件。