[发明专利]用于真空环境中直触式探测物料表面参数的窗式装置

摘要

本发明涉及用于真空环境中直触式探测物料表面参数的窗式装置，其特征在于真空壳体上面设置密封窗口，活动密封盖下面与密封窗口之间设置有橡胶密封圈，活动密封盖中心位置设置有通气孔，活动密封盖里面对应位置设置密封托板，在外壳内与密封托板相对的位置也设置有环形片状的橡胶垫，密封托板的下表面设置有万向球坑，万向球坑内设置有万向球头，以确保密封托板与密封窗内侧真空外壳壁在受压情况下，两个密封面的平行度。被探测的扁平物料位于密封托板与密封窗口处的真空外壳之间，直线滑杆由直线轴承固定，可做直线往复运动。本发明结构简单，成本低廉的特点，将真空外检测和真空中生产结合在一起，降低了检测设备的环境要求，进而降低了成本。

主权项

用于真空环境中直触式探测物料表面参数的窗式装置，包括通气阀(1)、通气孔(2)、活动密封盖(3)、橡胶密封圈(4)、橡胶垫(6)、密封托板(7)、万向球坑(8)、万向球头(9)、直线滑杆(10)、直线轴承(11)、连杆(12)、偏心轮(13)、转动轴(14)、真空(15)、外壳(16)，其特征在于外壳(16)上面中心处设置密封窗口，密封窗口处设置活动密封盖(3)，活动密封盖(3)下面与密封窗口之间设置有橡胶密封圈(4)，活动密封盖(3)中心位置设置有通气孔(2)，活动密封盖(3)上面设置通气阀(1)，通气阀(1)与通气孔(2)连接，活动密封盖(3)里面对应位置设置密封托板(7)，密封托板(7)上面设置有圆形片状的橡胶垫(6)，在外壳(16)内与密封托板(7)相对的位置也设置有环形片状的橡胶垫(6)，外壳(16)上的橡胶垫(6)中间设置孔并且孔的直径与密封窗口径相等外径与密封托板(7)的直径相等，密封托板(7)的下表面设置有万向球坑(8)，万向球坑(8)内设置有万向球头(9)，万向球头(9)下面设置直线滑杆(10)，直线滑杆(10)固定在直线轴承(11)上，直线滑杆(10)下面设置有偏心轮(13)，偏心轮(13)中心设置转动轴(14)，直线滑杆(10)通过连杆(12)与偏心轮(13)连接，直线滑杆(10)可做直线往复运动，外壳(16)内设置真空。