[发明专利]用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法有效
| 申请号： | 201110259674.X | 申请日： | 2011-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102328265A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 冈藤大雄;竹内正树;山崎裕之 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;G03F1/14;G03F1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。具体地，通过机加工合成石英玻璃衬底以形成凹槽、沟道或台阶，和通过旋转抛光工具的加工部抛光凹槽、沟道或台阶的底和侧表面至镜面光洁度，同时在独立的恒定压力下保持加工部与底和侧表面接触，制造电子级合成石英玻璃衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 电子 合成 石英玻璃 衬底 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造具有前和后表面的电子级合成石英玻璃衬底的方法，包括步骤：将合成石英玻璃衬底的至少一个表面进行机加工以形成具有底和侧表面的凹槽、沟道或台阶，和通过旋转抛光工具的加工部来抛光凹槽、沟道或台阶的底和侧表面至镜面光洁度，同时在独立的恒定压力下保持加工部与底和侧表面接触。
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