[发明专利]一种X射线荧光光谱定量分析的装置及方法

摘要

本发明公开了一种X射线荧光光谱定量分析的装置及方法。现有技术数学校正法和实验校正法的理论计算和标样比较过程复杂。本发明从高能脉冲激光器发出的激光束通过反光镜后由激光导入窗口入射到真空腔体内的固体样品上，固体样品表面受热释放出成分与其相同的粒子。从固体样品上释放出来的粒子沉积在位于固体样品上方的石墨沉积台上形成薄膜。X光管发出的X射线照射到该薄膜上，薄膜发出的X射线荧光由位于其下方的X射线荧光探测器进行探测。本发明提出的方法通过薄膜沉积技术从源头上消除了产生基体效应的因素，简化了XRF定量分析中基体效应影响的消除过程，提高了检测效率和测试精度。

主权项

一种X射线荧光光谱定量分析的装置，包括高能脉冲激光器、激光反光镜、激光导入窗口、固体样品、固体样品台、固体样品磁力传动杆、传动杆法兰、磁铁传动滑块、磁力传递杆套筒、磁力传递杆法兰、石墨沉积台、石墨沉积台支撑杆、石墨沉积台法兰、X光管、X光管电缆、X荧光探测器、金属陶瓷电极、X荧光探测器支撑杆、真空机组和真空腔体，其特征在于：激光导入窗口设置在真空腔体外侧，X光管的一端穿过真空腔体，并固定在真空腔体上，另一端与X光管电缆连接；X荧光探测器的上端悬空，下端中间与X光荧光探测器支撑杆的一端连接，下端中间四周与金属陶瓷电极法兰的电极相连接，X光荧光探测器支撑杆的另一端与金属陶瓷电极法兰螺纹连接；真空机组设置在真空腔体外侧；固体样品安放于石墨样品台，石墨样品台的一端悬空，另一端与固体样品台磁力传动杆的一端相连接，固体样品台磁力传动杆的另一端穿过磁力传递杆法兰，进入磁力传递杆套筒，磁力传递杆法兰的一端与真空腔体螺纹连接，磁力传递杆法兰的另一端与磁力传递杆套筒固定，磁铁传动滑块中间开有通孔，磁力传递杆套筒的一端贯穿磁铁传动滑块的通孔，磁力传递杆套筒与磁铁传动滑块滑动配合；石墨沉积台的上端固定在石墨沉积台支撑杆的一端，石墨沉积台下端悬空，石墨沉积台支撑杆的另一端穿过石墨沉积台法兰，并与石墨沉积台法兰滑动配合，石墨沉积台法兰与真空腔体螺纹连接；高能脉冲激光器发射出的脉冲激光经激光反光镜反射进入激光导入窗口；所述的X荧光探测器、固体样品、固体样品台和石墨沉积台都设置于真空腔体内。