[发明专利]肖特基二极管及其制作方法有效
申请号: | 201110261247.5 | 申请日: | 2011-09-05 |
公开(公告)号: | CN102315281A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 柳志亨 | 申请(专利权)人: | 成都芯源系统有限公司 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L29/06;H01L21/329 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王波波 |
地址: | 611731 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种肖特基二极管及其制作方法。该肖特基二极管包括半导体层,具有第一掺杂类型;保护环区,包括第一保护环区和第二保护环区,位于半导体层内,具有第二掺杂类型,其中所述第一保护环区至少部分地围绕所述第二保护环区;金属接触,位于半导体层和保护环区上方;以及阴极接触区,位于半导体层内,具有第一掺杂类型。利用本发明所揭示的肖特基二极管,可以有效提高其击穿电压和正向载流能力,节省芯片的尺寸面积。 | ||
搜索关键词: | 肖特基 二极管 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种肖特基二极管,包括:半导体层,具有第一掺杂类型;保护环区,包括第一保护环区和第二保护环区,位于半导体层内,具有第二掺杂类型,其中所述第一保护环区至少部分地围绕所述第二保护环区;金属接触,位于半导体层和保护环区上方;以及阴极接触区,位于半导体层内,具有第一掺杂类型。
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