[发明专利]一种泡沫金属载体负载掺氮二氧化钛光催化剂的制备方法

摘要

本发明提供一种泡沫金属载体负载掺氮二氧化钛光催化剂的制备方法，使用真空电弧离子镀工艺，制备的光催化剂的掺氮二氧化钛膜可均匀分布于多孔金属的表面，增加光催化剂催化反应接触面积，可使光催化剂具有较高的光催化活性。

主权项

一种泡沫金属载体负载掺氮二氧化钛光催化剂的制备方法，采用泡沫金属作为载体，掺氮二氧化钛作为活性组分，特征在于使用真空电弧离子镀工艺，包括如下步骤：（1）泡沫金属载体入炉前，进行清洁处理，在丙酮溶液中超声波清洗两次，使用无水乙醇脱水，脱水后烘干装入真空室；（2）真空室抽本底真空至4～6×10－3Pa，充氩气至5～10Pa，在泡沫金属载体上加负偏压500～800V，使氩气形成等离子体辉光放电，在负偏压电场作用下，使用具有高能量的氩离子对泡沫金属载体进行轰击，进行辉光放电离子轰击清洗，使泡沫金属载体温度上升；（3）辉光放电离子轰击清洗结束后，将氩气压强设定在2Pa，开启弧电源，在泡沫金属载体上加400～500V负偏压，引燃Ti靶，用高能量Ti离子对泡沫金属载体进行轰击，进行弧光放电清洗；（4）弧光放电清洗关掉弧电源，再次将真空室抽至4～6×10‑3Pa；（5）向真空室通入工作气体N2气和O2气，工作压强由自动压强控制仪控制，N2气流量由质量流量计控制，按预设的流量通入N2，待真空度稳定后，再通入 O2达到工作压强，待真空室气体压强达到工作压强后，对泡沫金属载体加负偏压，开启弧电源，引燃电弧开始镀膜，镀膜结束后得到泡沫金属载体负载掺氮二氧化钛光催化剂。