[发明专利]一种制备碳纳米管垂直阵列的方法有效

专利信息
申请号: 201110263453.X 申请日: 2011-09-07
公开(公告)号: CN102424375A 公开(公告)日: 2012-04-25
发明(设计)人: 钟国仿 申请(专利权)人: 钟国仿
主分类号: C01B31/02 分类号: C01B31/02;B82Y40/00
代理公司: 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 代理人: 王蕊;张一军
地址: 102208 北京市昌*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种制备碳纳米管垂直阵列的方法。所述方法包括如下步骤:(1)在基片表面上沉积厚度为3-20纳米的铝膜;(2)根据需要在室温下氧化或者在低于200摄氏度的温度下氧化所述铝膜;(3)在所述铝膜或氧化铝膜上沉积0.2-1.0纳米的催化剂层;(4)在所述催化剂层上沉积不厚于0.5纳米的铝膜;(5)在0.1-100毫巴低压还原性气氛中对所述步骤(4)的产物进行预热或预处理;(6)在550-850摄氏度的生长温度引入0.1%-50%浓度的碳源气体进行单壁碳纳米管垂直阵列的生长。发明克服了或至少减轻现有技术制备单壁碳纳米管的弊端,通过尽可能简单的技术和工艺实现单壁碳纳米管垂直阵列的制备,对单壁碳纳米管的直径、密度和长度可进行非常有效的控制。
搜索关键词: 一种 制备 纳米 垂直 阵列 方法
【主权项】:
一种制备碳纳米管垂直阵列的方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)在基片表面上沉积厚度为3‑20纳米的铝膜;(2)在所述铝膜上沉积0.2‑1.0纳米厚的催化剂层;(3)在所述催化剂层上沉积不厚于0.5纳米的铝膜。
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