[发明专利]一种制备碳纳米管垂直阵列的方法有效
申请号: | 201110263453.X | 申请日: | 2011-09-07 |
公开(公告)号: | CN102424375A | 公开(公告)日: | 2012-04-25 |
发明(设计)人: | 钟国仿 | 申请(专利权)人: | 钟国仿 |
主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人: | 王蕊;张一军 |
地址: | 102208 北京市昌*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种制备碳纳米管垂直阵列的方法。所述方法包括如下步骤:(1)在基片表面上沉积厚度为3-20纳米的铝膜;(2)根据需要在室温下氧化或者在低于200摄氏度的温度下氧化所述铝膜;(3)在所述铝膜或氧化铝膜上沉积0.2-1.0纳米的催化剂层;(4)在所述催化剂层上沉积不厚于0.5纳米的铝膜;(5)在0.1-100毫巴低压还原性气氛中对所述步骤(4)的产物进行预热或预处理;(6)在550-850摄氏度的生长温度引入0.1%-50%浓度的碳源气体进行单壁碳纳米管垂直阵列的生长。发明克服了或至少减轻现有技术制备单壁碳纳米管的弊端,通过尽可能简单的技术和工艺实现单壁碳纳米管垂直阵列的制备,对单壁碳纳米管的直径、密度和长度可进行非常有效的控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 纳米 垂直 阵列 方法 | ||
【主权项】:
一种制备碳纳米管垂直阵列的方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)在基片表面上沉积厚度为3‑20纳米的铝膜;(2)在所述铝膜上沉积0.2‑1.0纳米厚的催化剂层;(3)在所述催化剂层上沉积不厚于0.5纳米的铝膜。
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