[发明专利]一种大视场投影物镜有效
| 申请号： | 201110264064.9 | 申请日： | 2011-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102981255A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 武珩;黄玲 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G02B13/00;G02B1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种大视场投影物镜，其特征在于投影物镜光学系统沿物面依次包括：由第一凹面反射镜和第一凸面反射镜组成的第一折返光路，一前透镜组，一中间像面，一后透镜组，以及由第二凸面反射镜和第二凹面反射镜组成的第二折返光路。本发明实现了正1x放大倍率设计，满足了多个镜头成像视场的拼接需求。同时降低了对单个反射镜尺寸的需求，获得更大的曝光视场。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 视场 投影 物镜 | ||
【主权项】：
一种大视场投影物镜，其特征在于投影物镜光学系统沿物面依次包括：由第一凹面反射镜和第一凸面反射镜组成的第一折返光路，一前透镜组，一中间像面，一后透镜组，以及由第二凸面反射镜和第二凹面反射镜组成的第二折返光路。
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