[发明专利]真空吸笔的滑槽结构有效
申请号: | 201110265056.6 | 申请日: | 2011-09-08 |
公开(公告)号: | CN103000560A | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 赵春庆;蒋剑波;莫毓东;吴国运 | 申请(专利权)人: | 昊诚光电(太仓)有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫;赵艳 |
地址: | 215400 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了真空吸笔的滑槽结构,结构包括底部开设有轴向方向的凹槽的导轨,凹槽的侧壁相向折弯90度后再相背离折弯90度,形成一对轴向方向的滑槽通道,设置可沿一对滑槽滚动的一对滚轮以及连接一对滚轮的滚轮轴,竖直设置一端连接滚轮轴的连杆,在连杆朝下的端面上连接设置本体被折弯呈直角的连通管,连通管的水平端口连通真空发生装置,竖直端口通过真空卷盘连通真空吸笔,这样在可大幅度移动真空吸笔的前提下,减小了真空卷盘的拉伸长度,降低了真空卷盘的损耗,延长了真空卷盘的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 真空 滑槽 结构 | ||
【主权项】:
真空吸笔的滑槽结构,其特征在于:所述滑槽结构包括起移动导向作用的导轨、可带动所述真空吸笔沿所述导轨的轴向方向移动的移动机构、做为所述真空吸笔抽吸真空的通路的连通管,沿轴向方向在所述导轨的底部设置凹槽,所述凹槽的一对侧壁的顶部相对折弯90度,所述一对侧壁被折弯部分的端部再沿竖直方向朝上折弯90度形成一对卡边,所述卡边、所述侧壁之间形成开口朝上的可供所述移动机构通行的一对滑槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造