[发明专利]含氮官能团取代烷氧基稀土金属镧和钆配合物及其合成方法与应用无效
| 申请号： | 201110265488.7 | 申请日： | 2011-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN102432631A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 沈应中;汤清云;陶弦;冯猛;王玉龙;方江涛;沈克成 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C07F5/00 | 分类号： | C07F5/00;H01L29/51 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李纪昌 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 含氮官能团取代烷氧基稀土金属镧和钆配合物，用下式表示：含氮官能团取代烷氧基稀土镧和钆配合物应用在原子层沉积技术上，具有足够的挥发性，合适的热稳定性，足够的反应活性，底物的匹配性并且价格合适、容易制备、低毒性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 官能团 取代 烷氧基 稀土金属 配合 及其 合成 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.含氮官能团取代烷氧基稀土金属镧和钆配合物，其特征在于用式(I)表示：![]()
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