[发明专利]一种微弧氧化制备钛酸锶钡介电薄膜及其方法无效
| 申请号： | 201110268892.X | 申请日： | 2011-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN102304744A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李文芳;王敏;郭会勇;黄文波 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C25D11/26 | 分类号： | C25D11/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微弧氧化制备钛酸锶钡介电薄膜及其方法，包括如下步骤：配置电解液采用乙酸钡或乙酸锶或两者的混合液，其中乙酸钡溶液的摩尔浓度在0~2.0mol/L之间，乙酸锶溶液的摩尔浓度在0~1.2mol/L之间；采用直流脉冲电源，电流密度为10~50A/dm2，脉冲频率为50~250Hz，占空比为60%~95%，处理时间为6~60min；将钛金属基体连接到阳极，反应时控制电解液的温度保持在50～60℃之间；反应后，取下被处理的钛金属，用蒸馏水冲洗，烘干。本发明工序简单、成膜速度快，薄膜与基体Ti的结合为冶金结合，薄膜具有优异的介电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 制备 钛酸锶钡介电 薄膜 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种微弧氧化制备钛酸锶钡介电薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1) 配置电解液：电解液采用乙酸钡或乙酸锶或两者的混合液，其中乙酸钡溶液的摩尔浓度为0~2.0mol/L，乙酸锶溶液的摩尔浓度为0~1.2mol/L；所述电解液在电磁加热搅拌器上搅拌，溶质完全溶解即可；(2) 设置微弧氧化电源电参数：采用直流脉冲电源，脉冲波形为方波，模式为恒电流模式；电流密度为10~50A/dm2，脉冲频率为50~250Hz，占空比为60%~95%；处理时间为6~60min；(3) 微弧氧化：将钛金属基体连接到阳极，浸没于上述电解液中进行微弧氧化，反应过程中控制电解液温度保持在50～60℃之间；反应后，取下钛金属，用蒸馏水冲洗后，再在蒸馏水中浸泡1～2小时，烘干，即可制得所需钛酸锶钡介电薄膜。
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