[发明专利]超快电子器件测试系统及方法有效
| 申请号： | 201110269306.3 | 申请日： | 2011-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN102426306A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 楼柿涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超快电子器件响应测试系统及方法。该系统包括飞秒脉冲激光器、飞秒脉冲延时系统、电脉冲产生模块、电脉冲探测模块及数据采集校正系统；该方法为：利用光学延时系统将光束分成有一定延时的两束飞秒脉冲光。其中一束激光聚集在高速光电二极管，光电二极管的光电效应产生的短电脉冲对高速电子器件进行电流或电场的输入，将另一束飞秒脉冲光聚焦到连接在超快电子器件的输出电路上的微小电光晶体上，利用光电探测器对从微小电光晶体中反射或透射的脉冲光强进行测试。通过改变两束光的延时对超快电子器件进行时序测量。本发明可有效解决超快电子器件的时序响应的测试问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电子器件 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种超快电子器件响应测试方法，其特征在于：利用飞秒脉冲延时系统将飞秒脉冲激光器产生的一束飞秒光学短脉冲分成有设定延时的两束飞秒脉冲光，并将其中一束飞秒脉冲光聚集在电脉冲产生模块上，由该电脉冲产生模块转换成短电脉冲对被测超快电子器件进行电流或电场的输入，同时将另一束飞秒脉冲光聚焦到一电脉冲探测模块中的电光晶体上，所述电光晶体与被测超快电子器件的输出电路连接，再利用所述电脉冲探测模块中的光电探测器检测对从所述电光晶体中反射或透射的脉冲光强进行检测，通过改变该两束飞秒脉冲光的延时，实现对超快电子器件的时序测量。
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