[发明专利]化学镀和喷射电镀复合加工多层膜的方法及装置有效
| 申请号： | 201110269336.4 | 申请日： | 2011-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN102330085A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 沈理达;田宗军;刘志东;王桂峰;邱明波;黄因慧 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C18/16;C25D5/08 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 瞿网兰 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种化学镀和喷射电镀复合加工多层膜的方法及装置，其特征是在回转基体周围分别安装着两个或多个化学镀和喷射电镀的喷射单元，每个喷射单元由拥有独立的镀液循环系统和镀液恒温系统，使上述回转基体依次旋转经过这些加工单元，实现化学镀和喷射电镀的复合电沉积。本发明可以将化学镀和喷射电镀结合起来，实现不同性质镀层的交替沉积，人为设计和制备不同组分和微观结构的多层膜，具有设备简单、节约成本、高效快捷、容易控制、加工过程足够稳定等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 喷射 电镀 复合 加工 多层 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种化学镀和喷射电镀复合加工多层膜的方法，其特征是在旋转或摆动基体周围至少安装着一个化学镀喷射单元和至少一个电镀喷射单元，使基体按照设定的速度保持旋转或摆动，各喷射单元按设定的次序依次向基体的表面喷射化学镀液或电镀液，在基体表面交替进行化学喷镀和/或电镀喷镀，形成所需的多层膜。
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