[发明专利]粘晶机有效
申请号: | 201110270560.5 | 申请日: | 2011-09-14 |
公开(公告)号: | CN102683233A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 石敦智;刘建志;林语尚;谢铭良 | 申请(专利权)人: | 均华精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/58 | 分类号: | H01L21/58;H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是一种粘晶机,其是于一个机台中设有一个晶粒环承载装置、一个第一取放装置、一个晶粒定位装置、一个第二取放装置、一个基板承载装置、一个第一视觉模块、一个第二视觉模块与一个第三视觉模块,第一取放装置与第二取放装置分段式移动晶粒,以及第三视觉模块的光学对位,而使晶粒得以精准地粘贴于基板处,而达到降低人工处理时间,以符合生产需求、避免晶粒掉落与精度较佳。 | ||
搜索关键词: | 粘晶机 | ||
【主权项】:
一种粘晶机,其用于将一个晶粒环的晶粒粘至于一个基板,其特征在于,该粘晶机包括有:一个机台;一个晶粒环承载装置,其设于该机台的一端,该晶粒环承载装置用来供该晶粒环设置;一个基板承载装置,其设于该机台的另一端,该基板承载装置用来供该基板设置;一个晶粒定位装置,其设于该机台,并位于该晶粒环承载装置与该基板承载装置之间;一个第一取放装置,其设于该机台,并且位于该晶粒环承载装置的上方,该第一取放装置取出位于该晶粒环承载装置的晶粒,并将该晶粒放置于该晶粒定位装置;一个第二取放装置,其设于该机台,并且位于该基板承载装置的上方,该第二取放装置取出位于该晶粒定位装置的晶粒,并将该晶粒放置于位于该基板承载装置的基板;一个第一视觉模块,其设于该机台,并且位于该晶粒环承载装置的上方,该第一视觉模块取像与对位位于该晶粒环承载装置的晶粒;一个第二视觉模块,其设于该机台,并且位于该晶粒定位装置的上方,该第二视觉模块取像与对位位于该晶粒定位装置的晶粒;以及一个第三视觉模块,其设于该机台,并且位于该基板承载装置的上方,该第三视觉模块分别或同时垂直取像与对位位于该第二取放装置上的晶粒与位于该基板承载装置的基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造