[发明专利]纵型热处理装置

摘要

提供一种使处理容器内的温度高精度地收敛到目标温度为止并且能够缩短收敛时间的纵型热处理装置。热处理装置(1)具备：炉本体(5)、设置在炉本体(5)内周面的加热器(18A)、配置在炉本体(5)内的处理容器(3)、连接在炉本体(5)的冷却介质供给鼓风机(53)和冷却介质排气鼓风机(63)、以及设置在处理容器(3)内的温度传感器(50)。来自温度传感器(50)的信号发送给控制装置(51)的加热器输出运算部(51a)以及鼓风机输出运算部(51b)。在加热器输出运算部(51a)中，根据加热器输出用数值模型(71a)以及来自温度传感器(50)的信号来求出加热器输出。在鼓风机输出运算部(51b)中，根据鼓风机输出用数值模型(71b)以及来自温度传感器(50)的信号来求出鼓风机输出。

主权项

一种热处理装置，其特征在于，具备：炉本体；加热器，其设置在炉本体内周面；处理容器，其配置在炉本体内，与炉本体之间形成空间，并且在该处理容器内部收纳多个被处理体；鼓风机，其经由冷却介质供给线连接于炉本体，向炉本体与处理容器之间的空间供给冷却介质；排气管，其设置于炉本体；炉内温度传感器，其检测处理容器内部或者外部的温度；以及控制装置，其控制加热器和鼓风机，调整处理容器内的温度来使处理容器内的温度收敛为规定的目标温度，其中，上述控制装置具有：预先确定的数值模型，其与加热器输出和鼓风机输出相关；加热器输出运算部，其根据上述数值模型和来自炉内温度传感器的炉内温度来求出加热器输出；以及鼓风机输出运算部，其根据上述数值模型和来自炉内温度传感器的炉内温度来求出鼓风机输出。