[发明专利]纳米级高精度控制热丝化学气相沉积生长薄膜材料设备

摘要

本发明公开了一种基于纳米级高精度在线控制的热丝化学气相薄膜沉积生长设备装置，该设备除了传统的沉积腔体外置安装相连的真空系统、气路系统、电源控制系统外，新设计在沉积腔体内组合安装纳米级高精度伺服系统精密控制距离、纳米级高精度薄膜沉积生长厚度与速度，薄膜形态形貌监控系统及宽范围的沉积台温度控制系统。本发明纳米级高精度控制热丝化学气相沉积生长薄膜材料设备可以在线纳米级高精度控制位置与薄膜沉积生长速度与形态。通过位置和温度的精密控制，让热丝化学气相薄膜沉积生长始终处于最优状态，如最快的沉积速度与最小的缺陷等。

主权项

一种纳米级高精度控制热丝化学气相沉积生长薄膜材料设备，主要包括沉积腔体外置安装相连的真空系统、气路系统和电源控制系统，还包括沉积腔体内置控制设备，其特征在于：该内置控制设备包括沉积台旋转杆(1)，安装在所述沉积台旋转杆(1)上方的沉积台系统(2)，安装在所述沉积台旋转杆(1)两边的冷却系统(3)，所述沉积台旋转杆(1)与椭圆偏振仪(4)相连，所述沉积台系统(2)上方设有热丝等离子体源系统(5)，所述冷却系统(3)下方设有伺服电机位置控制系统(6)。