[发明专利]一种蓝宝石晶体生长用坩埚移动装置有效
| 申请号： | 201110272807.7 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102286781A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;冯金生 | 申请（专利权）人： | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 213200 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石晶体生长用坩埚移动装置，在支座上设置有传动连接的电动机和直线运动总成，直线运动总成中设置有滑座；滑座上固定有空心坩埚杆、激振器、温度传感器，温度传感器处于空心坩埚杆的轴心孔正下方；空心坩埚杆的下端套装有旋转水套，旋转水套的下端设置有玻璃视窗组件；空心坩埚杆的上端安放有坩埚，坩埚的周围设置有加热器，坩埚之上设置有移动籽晶，坩埚、加热器、移动籽晶均位于真空腔之内。本发明的装置，通过在滑座上安装的激振器的振动作用将坩埚内原料溶液中的气泡排除，提高生长晶体的质量；通过安装在空心坩埚杆底部的温度传感器对坩埚的温度进行测量，以达到晶体的稳定生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶体生长 坩埚 移动 装置 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶体生长用坩埚移动装置，其特点在于：在支座(1)上设置有传动连接的电动机(2)和直线运动总成(5)，直线运动总成(5)中设置有沿竖直方向移动的滑座(6)；滑座(6)上固定有竖直方向的空心坩埚杆(7)，在滑座(6)上还固定安装有激振器(8)和温度传感器(12)，温度传感器(12)处于空心坩埚杆(7)的轴心孔正下方；空心坩埚杆(7)的下端外圆周上套装有旋转水套(9)，旋转水套(9)连通有进、出水管，旋转水套(9)的下端设置有玻璃视窗组件(10)；空心坩埚杆(7)的上端安放有坩埚(14)，坩埚(14)的周围设置有加热器(17)，坩埚(14)之上设置有移动籽晶(18)，坩埚(14)、加热器(17)、移动籽晶(18)均位于真空腔(13)之内，真空腔(13)设置有抽真空装置。
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