[发明专利]形成太阳能电池的选择性发射极的掩模、方法和设备

摘要

本发明公开形成太阳能电池的选择性发射极的掩模、方法和设备。根据本发明实施例的形成太阳能电池的选择性发射极的设备包括：传送装置，被配置为传送基板，其中在所述基板的上表面上形成有第一发射极层，所述第一发射极层具有在其中扩散和形成的n型杂质；工作台，从所述传送装置向所述工作台提供所述基板，并且所述工作台被配置为支撑所提供的基板；掩模，放置在所述第一发射极层的上侧并具有图案化的开口；以及发射装置，位于所述工作台的上方并将热能施加给经所述掩模被暴露的第一发射极层。

主权项

一种形成太阳能电池的选择性发射极的设备，包括：传送装置，被配置为传送基板，其中在所述基板的上表面上形成有第一发射极层，所述第一发射极层具有在其中扩散和形成的n型杂质；工作台，从所述传送装置向所述工作台提供所述基板，并且所述工作台被配置为支撑所提供的基板；掩模，放置在所述第一发射极层的上侧并具有图案化的开口；以及发射装置，位于所述工作台的上方并将热能施加给经所述掩模被暴露的第一发射极层。