[发明专利]中间掩模版保持器和中间掩模版的组件有效
| 申请号： | 201110274972.6 | 申请日： | 2004-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102338992A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | G·-J·希伦斯;B·L·W·M·范德文 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种中间掩模版和中间掩模版保持器的组件，其中中间掩模版保持器(1)的状态在形状锁合的中间掩模版阻止状态和中间掩模版释放状态之间是可调整的，其中当中间掩模版保持器(1)处于阻止状态中时，中间掩模版保持器(1)用于至少以形状锁合方式沿至少一个方向(X，Y，Z)保持中间掩模版(MA)，当中间掩模版保持器(1)处于释放状态时，该中间掩模版保持器(1)用于释放中间掩模版(MA)。本发明还涉及一种系统，包括中间掩模版(MA)和中间掩模版保持器(201)的组件，以及至少一个检测器(250)，其中中间掩模版(MA)包括一个或多个标记(MRK)，其中中间掩模版保持器(201)和检测器(250)用于相对于彼此在运动学上对准，其中检测器(250)用于检测所述中间掩模版标记(MRK)，用以使中间掩模版(MA)相对于中间掩模版保持器(201)定位。 | ||
| 搜索关键词： | 中间 模版 保持 组件 | ||
【主权项】：
包括中间掩模版(MA)和中间掩模版保持器(201)的组件以及至少一个检测器(250)的系统，其中中间掩模版(MA)包括一个或多个标记(MRK)，其中中间掩模版保持器(201)和检测器(250)用于相对于彼此在运动学上对准，其中检测器(250)用于检测使中间掩模版(MA)相对于中间掩模版保持器(201)定位的所述中间掩模版标记(MRK)，其中该系统优选包括至少一个储存箱(210)，用于至少在将中间掩模版(MA)相对于中间掩模版保持器(201)定位的过程中储存所述组件(MA，201)。
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