[发明专利]热等静压生产平板显示器用钼合金溅射靶材的方法有效
| 申请号： | 201110276564.4 | 申请日： | 2011-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN102321871A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 庄志杰 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;B22F3/12 |
| 代理公司： | 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 | 代理人： | 郭春远 |
| 地址： | 215214 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 热等静压生产平板显示器用钼合金溅射靶材的方法，钼材经过适当的1000℃~1500℃，100～200MPa热等静压处理，在致密度提高的基础上，可获得细小均匀的晶粒度并且强度和韧性均得到提高。在高温高压的共同作用下，被加工件的各向均衡受压，靶材的致密度高、均匀性好、性能优异，同时具有生产周期短、工序少、能耗低、后期加工材料损耗小等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 静压 生产 平板 显示 器用 合金 溅射 方法 | ||
【主权项】：
热等静压生产平板显示器用钼合金溅射靶材的方法，其特征是：靶材热等静压生产步骤包括：粉体准备,将钼粉体和一种或多种金属粉体进行混合；混合，将金属钼粉与添加的金属粉体进行混合确保金属钼粉与添加粉体混合均匀；液压成型，将合金粉体装入液压机成型模具中，压制成靶胚；冷等静压(CIP)成型，靶胚冷等静压再次压制，确保密度的均一性；装入包套，将冷等静压压制后的靶胚放入到不锈钢包套中，并将包套一边加热一边抽真空，加热温度400‑600℃，要求的真空度为小于10‑2ar；热等静压，将包套放入热等静压设备中开始压制程序。
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