[发明专利]一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法及其装置

摘要

本发明涉及一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法及其装置，其方法是用激光和电化学同时对多晶硅片进行复合加工，在多晶硅片加工表面形成阵列光陷阱结构，同时电解液对多晶硅片表面产生电化学腐蚀，光整加工表面。实现上述方法的装置包括激光器5和电解机构15、电源1和工作台11；电解机构15主要由电解槽底座13、电解槽盖板4、阴极8、阳极12、工件安装夹具14、密封圈10和光学防护镜7组成，多晶硅片置于电解槽中，且将电解槽分为二室，从而使得多晶硅片成为电解时的唯一电流通道。本发明提供了一种多晶硅太阳电池的高效绒面新加工方法，其产品具有高重复性、良好高宽比性能，可获优于纯化学腐蚀制备绒面的减反射效果，对提高光电转换效率有重要作用。

主权项

一种制备多晶硅太阳电池绒面的方法，其特征在于，将多晶硅片置于电解槽中，且使多晶硅片为电解时的唯一电流通道，用聚焦激光束对多晶硅片表面进行扫描，同时进行电解，激光束的扫描使多晶硅片表面形成阵列光陷阱结构，电解液对多晶硅片表面产生电化学腐蚀，光整加工表面。