[发明专利]表面分析器

摘要

本发明提供了一种表面分析器，利用该表面分析器，用户仅需进行简单的操作就可以定量比较试样上关注区域内诸如标高和相位等的不同物理量。通过将与相位相对应的颜色信息映射到根据试样标高的二维分布数据创建的三维图像而创建的三维彩色图像(32)显示在分析结果显示画面(30)中。基于可通过用户操作移动的指针(P和Q)创建的剖面图像(33)叠加在三维彩色图像(32)上。剖面图像(33)与试样相交的一维区域定义为关注区域。沿关注区域的标高和相位图形显示在图形显示区域(37)上，且在这些图形上叠加有游标(A～F)。将游标位置处的诸如标高值和相位值或游标之间的标高值差和相位值差等的各种特性值显示在特性值表(38)中。

主权项

一种表面分析器，用于针对试样的同一目标区域收集不同种类的多个物理量的二维分布数据、基于收集到的数据创建显示图像并且将所述显示图像显示在显示装置上，所述表面分析器包括：a)第一显示处理器，用于基于所述不同种类的多个物理量中的第一物理量的二维分布数据来创建所述目标区域的三维图像，通过将基于第二物理量的二维分布数据所创建的颜色分布叠加在所述三维图像上来创建三维彩色图像，并且将所述三维彩色图像显示在所述显示装置的第一显示区域中；b)剖面图像创建器，用于响应于用户对操作单元的操作，创建在所述三维彩色图像的某位置处与所述试样的表面相交的剖面图像，并且将所述剖面图像叠加在所述三维彩色图像上；以及c)第二显示处理器，用于将所述剖面图像与所述试样的表面相交的一维区域定义为关注区域，使用所述第一物理量和所述第二物理量的二维分布数据来创建示出所述第一物理量和所述第二物理量的值沿所述关注区域的分布或变化的图形，并且将所述图形显示在所述显示装置中与所述第一显示区域分开的第二显示区域中。