[发明专利]一种用于微纳米测量的微可变电容及其制备方法无效
| 申请号： | 201110279041.5 | 申请日： | 2011-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102332351A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 汪红;何明轩;李源;凌行;卢歆;丁桂甫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01G5/38 | 分类号： | H01G5/38;H01G5/011 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于微纳米测量的微可变电容及其制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单元都引出信号，上电极作为公用电极，每个独立的电极单元与公用上电极构成四个独立的电容，每个电容的等效面积为已经等分好的扇形面积。微电容是通过微加工工艺来实现的，在不增加工艺复杂程度的同时，制作出高灵敏度的适合微纳米测量的微可变电容，并且能够和市场上很多微纳米测量探针集成，整合到微纳米测量设备中。该电容不但适合轴向测量，也适合横向测量，微可变电容与探针集成可以实现微纳米3D测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 测量 可变电容 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于微纳米测量的微可变电容，由上下两个电极构成的，上电极通过柱子与下电极保持悬空，电极和柱子之间通过平面弹簧来连接，其特征在于：所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单元都引出信号，上电极作为公用电极，每个独立的电极单元与公用上电极构成四个独立的电容，每个电容的等效面积为已经等分好的扇形面积。
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