[发明专利]双路型切变应力测定方法及装置

摘要

本发明提供一种共振切变测定方法，其在试样的剪切响应的测定中，对试样的单侧表面的振动的衰减曲线进行傅立叶变换，来取得共振切变曲线，从而可进行其简便的短时间测定。在共振切变测定方法中，将输入信号Uin输入到共振切变测定单元的水平驱动部，使用位移计对该共振切变测定单元中的固体表面中夹入的试样的单侧表面的振动进行检测来作为输出信号Uout，与所述输入信号Uin一起，将所述输出信号Uout输入到共振切变计量装置，将所述共振切变测定单元的固体表面中夹入的试样的剪切响应与膜厚的变化一起进行计量，其中，使用傅立叶变换部(5B)对所述试样的单侧表面的振动的衰减曲线进行傅立叶变换，来取得共振切变曲线。另外，提供一种双路型切变应力测定装置，其使用可对不透明基板间的距离进行测定的双路法可进行精密的切变应力测定。

主权项

一种双路型切变应力测定方法，其特征在于，在该双路型切变应力测定方法中，组合将激光光照射到安装在试样的下部表面保持体的底面的反射镜，根据来自所述反射镜的反射光的相位变化来对所述试样的表面间距离位移进行测定的双路表面间距离测定方法和根据共振曲线来对所述试样的粘弹性以及摩擦·润滑特性进行测定的测定法，对试样的切变应力进行测定。