[发明专利]一种多注行波管阴极钽热屏制备方法

摘要

本发明涉及一种多注行波管阴极钽热屏制备方法，包括下述步骤：a.毛坯加工；b.超声波中清洗零件；c.酸洗；d.一级真空高频退火；e.一级模压；f.超声波中清洗零件；g.酸洗；h.一级真空高频退火；i.二级模压；j.一级车加工；k.超声波中清洗零件；l.酸洗；m.一级真空高频退火；n.冲压；o.二级车加工；p.超声波中清洗零件；r.一级检测；s.电火花切割；t.电火花加工；u.二级检测；v.超声波中清洗零件；w.酸洗；x.二级真空高频退火，所述多注行波管阴极钽热屏制备完成了。所述多注行波管阴极钽热屏制备方法能高精度、高热屏蔽的多注阴极钽热屏零件。

主权项

一种多注行波管阴极钽热屏制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：a.毛坯加工，将钽片材切割成满足加工需要的零件；b.超声波中清洗零件，按操作规程开动离子交换装置，按操作规程接通烘箱，按操作规程接通超声波发生器，所述超声波发生器的振荡频率约为17.5～23.5KHz，用镊子将所述零件装在金属篮中放入超声波清洗槽中，在装有去离子水的所述超声波清洗槽中清洗所述零件约15～20min，清洗结束后的所述零件的电阻应不小于2MΩ，将所述零件浸没到无水乙醇中进行脱水约3～5s，在所述烘箱中干燥所述零件时，用镊子将所述零件放入所述烘箱中，干燥温度约为75～85°C，干燥时间约为10～45min，所述零件干燥并冷却后用镊子取出放入清洁干燥的搪瓷盒中，按操作规程关闭所述超声波发生器，所述离子交换装置，所述烘箱；c.酸洗，将所述零件放入金属篮中或用镊子夹住，将其浸没到酸洗溶液，酸洗时间约8～10s，酸洗掉的金属层的平均厚度约为3～4µm，用流动的自来水冲洗零件30～50s，再用流动的去离子水冲洗零件1.0～1.5min，将零件浸没到丙酮或无水乙醇中进行脱水处理3～5s，用空气喷枪吹干零件，将零件放入烘箱，干燥10～15min，戴尼龙手套或PVC手套将零件取出来，对零件进行检查，不允许存在毛刺，污物、氧化物，酸洗过度等缺陷，对零件作报废处理；d.一级真空高频退火，用镊子或戴手套将所述零件放入钽筒中，并将所述钽筒放在高频炉的工件托架上，并放好钟罩，关闭放气阀并降下高频线圈，根据设备操作规程，对系统抽真空，在真空度达到3～4×10‑4Pa后，预热灯丝3min后，按设备操作规程开始调节功率加热，根据放气情况，逐渐加大加热功率，加热时真空度应不低于1×10‑2Pa，当加热结束时，逐渐将灯丝电压降至零，冷却所述钟罩和所述零件，升起感应线圈，将其移至一旁，关闭高真空插板阀，按设备的操作规程关闭真空计、分子泵和机械泵，打开放气阀，向所述钟罩中放入空气，取下所述钟罩，取出所述钽筒，用镊子或戴尼龙手套取出所述零件，放入零件盒，所述零件为毛坯；e.一级模压；f.对所述零件重复所述步骤b，超声波中清洗零件；g.对所述零件重复所述步骤c，酸洗；h.对所述零件重复所述步骤d，真空高频退火；i.二级模压；j.一级车加工；k.对所述零件再次重复所述步骤b，超声波中清洗零件；l.对所述零件再次重复所述步骤c，酸洗；m.对所述零件再次重复所述步骤d，真空高频退火；n.冲压；o.二级车加工；p.对步骤j形成的零件第四次重复所述步骤b，超声波中清洗零件；r.一级检测，检测所述零件的内径尺寸；s.在所述零件上电火花切割两个窗孔；t.在所述零件上电火花加工四个槽；u.二级检测，检测所述零件的窗孔和槽；v.对步骤t形成的零件第五次重复所述步骤b，超声波中清洗零件w.对所述零件第四次重复所述步骤b，酸洗；x.二级真空高频退火，形成所述多注行波管阴极钽热屏。