[发明专利]光学元件抛光表面质量全参数检测装置和检测方法有效
| 申请号： | 201110285005.X | 申请日： | 2011-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN102425998A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 田爱玲;王红军;刘丙才;王春慧;王辉;朱学亮 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01N21/21 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学元件抛光表面质量全参数检测装置和检测方法。现有抛光表面质量参数检测不能真实反映被评价区域的表面质量。本发明采用的技术方案为：一种光学元件抛光表面质量全参数检测装置，包括由光路垂直的激光激发系统和宽带光源激发系统构成的光源激发系统、白光干涉系统、激光共焦检测系统、计算机和分别与计算机连接的CCD相机、针孔光电探测器及信号处理单元、光阑光电探测器及信号处理单元和三维扫描及控制单元；所述白光干涉系统设置在宽带光源激发系统和CCD相机之间；所述激光共焦检测系统设置在激光激发系统与针孔光电探测器及信号处理单元、光阑光电探测器及信号处理单元之间。本发明能真实有效地反映被评价区域的表面质量。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 抛光 表面 质量 参数 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光学元件抛光表面质量全参数检测装置，其特征在于：包括由光路垂直的激光激发系统和宽带光源（16）激发系统构成的光源激发系统、白光干涉系统、激光共焦检测系统、计算机和分别与计算机连接的CCD相机（12）、针孔光电探测器及信号处理单元（13）、光阑光电探测器及信号处理单元（14）和三维扫描及控制单元（21）；所述白光干涉系统设置在宽带光源（16）激发系统和CCD相机（12）之间；所述激光共焦检测系统设置在激光激发系统与针孔光电探测器及信号处理单元（13）、光阑光电探测器及信号处理单元（14）之间。
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