[发明专利]红外光谱干涉仪和采用该干涉仪的红外光谱仪

摘要

本发明提出了一种红外光谱干涉仪，包括发出平行光线的光源，在平行光线的前进方向上设置有分束镜，在分束镜的透射光路上依次设置有补偿镜、动立体角镜和第一平面镜；在分束镜的反射光路上依次设置有定立体角镜和第二平面镜；其中的分束镜的镀有分束膜的面平行于所述第二平面镜和第一平面镜构成的夹角的角平分线，第二平面镜垂直于定立体角镜的光轴，第一平面镜垂直于动立体角镜的光轴。该干涉仪的独特的光路设计，使其既不受立体角镜的角度偏移的影响同时也不受立体角镜顶点的位置平移的影响，因此抗环境干扰能力强。同时，本发明还提供了一种采用该红外光谱干涉仪的红外光谱仪，能够获得同样有益的技术效果。

主权项

一种红外光谱干涉仪，其特征在于，包括发出平行光线的光源(1)，在所述平行光线的前进方向上设置有分束镜(2)，在分束镜(2)的透射光路上依次设置有补偿镜(3)、可沿其光轴方向移动的动立体角镜(8)和固定的第一平面镜(6)，透射光透过所述补偿镜(3)经动立体角镜(8)反射到第一平面镜(6)上，所述第一平面镜(6)将入射光沿原路反射回动立体角镜(8)并进一步透过补偿镜(3)返回分束镜(2)，分束镜(2)将其反射至检测器(4)；在分束镜(2)的反射光路上依次设置有固定的定立体角镜(7)和固定的第二平面镜(5)，反射光束经定立体角镜(7)反射到第二平面镜(5)上，所述第二平面镜(5)将入射光线沿原路反射回分束镜(2)并透过分束镜(2)投射至检测器(4)；其中的分束镜(2)的镀有分束膜的面平行于所述第二平面镜(5)和第一平面镜(6)构成的夹角的角平分线，第二平面镜(5)垂直于定立体角镜(7)的光轴，第一平面镜(6)垂直于动立体角镜(8)的光轴，所述补偿镜(3)平行于所述分束镜(2)设置，且与所述分束镜(2)同材质、等厚度，所述光源(1)的平行光线经分束镜(2)后的透射光平行于动立体角镜(8)的光轴，所述光源(1)的平行光线经分束镜(2)的反射光线平行于定立体角镜(7)的光轴。