[发明专利]一种制作高温散斑的方法

摘要

一种制作高温散斑的方法，属于光测力学技术领域。本发明的技术特点是在通过对模拟散斑进行优化，寻求最佳的散斑制作工艺参数，然后制作不同放大倍数对应下的散斑，通过打印设备将散斑图打印到聚氯乙烯片，比较方便灵活，依此为掩模板，然后通过光刻刻蚀的方法在高温材料试样表面形成散斑。该方法操作简单、散斑场可量化，容易实现，尤其适用于高温环境下不同材料的宏观变形行为的研究。

主权项

一种制作高温散斑的方法，其特征在于该方法包括如下步骤：1)利用计算机软件生成多幅颗粒大小和数目各不相同的模拟散斑图，根据图像平均灰度梯度平方和选择出最佳模拟图，将该散斑图转化为二值图；根据实际测试区域的大小确定不同散斑大小和密度的相应的散斑图模板；2)利用有机玻璃打印机将对应实际测试区域的散斑二值图打印在聚氯乙烯片上，打印出的散斑图像作为掩模板；3)将试件切割成所需形状，并进行清洗，确定测试区域，根据测试区域的大小确定对应的掩模板；4)利用真空镀膜装置在试件表面蒸镀一层金属膜，利用匀胶机在金属膜表面均匀涂一层光刻胶；5)将涂有光刻胶的试件竖直放在真空汞灯曝光系统的载物台上，使镀膜的表面朝向汞灯发射的一侧，将选定好的掩模板紧贴放到试件表面，不断重复光照强度、曝光时间及显影时间，直至在光刻胶表面得到清晰的掩模板散斑分布结构；6)将表面含有掩模板散斑分布结构的试件放入电感耦合等离子体刻蚀机中进行等离子刻蚀，在金属膜上形成散斑；7)腐蚀掉剩余的光刻胶，最终在试件表面得到高温散斑。