[发明专利]一种光伏玻璃薄膜溅镀的简易靶材更换台车装置无效
| 申请号： | 201110287517.X | 申请日： | 2011-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103014636A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光伏玻璃薄膜溅镀的简易靶材更换台车装置，通过设置中空不锈钢框架可置放使用过的靶材，右不锈钢框架设有螺孔可固定靶材于框架上，同时不锈钢框架尾端设有定位插销，当放置靶材于框架时用以定位。同时不锈钢框架固定于双向蜗轮减速机轴心上，双向蜗轮减速机轴向上也设有手摇轮作为手动旋转不锈钢框架。本发明结构简单，对于太阳能厂设备维修上节省维修人力及时间有很大效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 薄膜 简易 更换 台车 装置 | ||
【主权项】：
一种光伏玻璃薄膜溅镀的简易靶材更换台车装置，其特征在于设置的靶材框架，长1700mm、宽300mm、厚15mm长方形中空结构。
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