[发明专利]一种显微共焦拉曼光谱仪无效
| 申请号： | 201110288486.X | 申请日： | 2011-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102507529A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 谭平恒;韩文鹏;张昕;鲁妍;罗师强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种显微共焦拉曼光谱仪，该光谱仪包括显微共焦拉曼模块和与之匹配的单光栅光谱仪，其中显微共焦拉曼模块包含反射镜、可调角度滤光片架、样品监测光路、拉曼滤光片、显微物镜、汇聚透镜和可调大小针孔。利用显微共焦拉曼模块将激光聚焦到样品并显微观测样品以及相应激光斑点，同时将拉曼信号显微共焦到可调大小针孔，并利用单光栅光谱仪探测拉曼信号。本发明提供了一种简单、经济和调节方便的新的显微共焦拉曼光谱仪，可实现样品以及相应激光斑点的显微观测，将在材料的拉曼光谱测量方面发挥潜在的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显微 共焦拉曼 光谱仪 | ||
【主权项】：
一种显微共焦拉曼光谱仪，其特征在于，该光谱仪包括：激光器(LS)；反射镜(MR)，用于将激光器(LS)出射的激光反射到拉曼滤光片(EDG)；拉曼滤光片(EDG)，用于将反射镜(MR)反射来的激光反射到显微镜的显微物镜(OB)；显微物镜(OB)，用于将拉曼滤光片(EDG)反射来的激光汇聚到样品(SMP)上，并收集激光所激发样品(SMP)的拉曼和瑞利信号；样品监测光路，用于观察样品(SMP)的表面微结构以及激光在样品(SMP)上的聚焦情况；汇聚透镜(LN)，用于将经显微物镜(OB)收集后的拉曼信号聚焦到可调大小针孔(SLT)；可调大小针孔(SLT)，用于实现拉曼信号的显微共焦探测；以及单光栅光谱仪，用于探测拉曼信号。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110288486.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
