[发明专利]基于双轴柔性铰链的高频响二维微角摆控制反射镜

摘要

基于双轴柔性铰链的高频响二维微角摆控制反射镜属于光束控制装置；包括反射镜、基于双轴柔性铰链的二维偏转机构、驱动机构、控制系统，反射镜固配在基于双轴柔性铰链的二维偏转机构的刚性平台上，入射光束经反射镜反射后出射，控制系统通过控制两个正负微驱动机构在对称位置分别沿正反方向高速推动刚性平台，使刚性平台上的反射镜发生微角度偏转，实现出射光束的方向控制，控制系统的位移传感器将反射镜的转角信息反馈给计算机系统，实时调整反射镜的微偏转角度，本发明具有二维偏转方向无耦合、无轴向平移、响应速度快的特点。

主权项

一种基于双轴柔性铰链的高频响二维微角摆控制反射镜，其特征在于：在底座(4)上端面上固装双轴柔性铰链(5)，刚性平台(2)垂直置于双轴柔性铰链(5)的输出端上，且绕双轴柔性铰链(5)发生二维微角度偏转，由底座(4)、双轴柔性铰链(5)和刚性平台(2)构成二维偏转机构；反射镜(1)固配在刚性平台(2)上端面上，反射镜(1)、刚性平台(2)、双轴柔性铰链(5)与底座(4)中心共轴；驱动机构由四个压电陶瓷驱动器(3)、相应的压电陶瓷驱动电源(8)及紧固件(7)构成，其中四个压电陶瓷驱动器(3)通过紧固件(7)均布配装在底座(4)上，且相对应的两个压电陶瓷驱动器(4)构成一组，两组压电陶瓷驱动器(4)分别相对于双轴柔性铰链(5)的正交偏转轴对称设置；四个位移传感器(6)和计算机系统(9)构成控制系统，所述的四个位移传感器(6)相对于双轴柔性铰链(5)对称配装在底座(4)上，且与刚性平台(2)接触配合；导线分别将位移传感器(6)与计算机系统(9)主机、计算机系统(9)主机与压电陶瓷驱动电源(8)、压电陶瓷驱动电源(8)与压电陶瓷驱动器(3)连通。