[发明专利]长晶炉及其动作方法无效
| 申请号： | 201110291477.6 | 申请日： | 2011-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN103014879A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 张文垣 | 申请（专利权）人： | 瑞晶应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾苗栗县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种长晶炉及其动作方法，其中长晶炉由上盖、中炉体与下炉体结合而成。此外，上盖、中炉体与下炉体可分别地被上盖移动机构、中炉体移动机构与下炉体移动机构移动，使得上盖可被移动至一维修部，且下炉体可被移出炉体之外。如此，不仅可便利于工程人员执行上盖的维保程序，也可易于将坩埚由下炉体取出与替换。 | ||
| 搜索关键词： | 长晶炉 及其 动作 方法 | ||
【主权项】：
一种长晶炉，其特征在于其包括：一上盖，借由一上盖移动机构将该上盖水平移动；一中炉体，借由一中盖移动机构将该中炉体垂直地移动；以及一下炉体，借由一下盖移动机构将该下炉体移出该长晶炉的下方，且用于承载一坩锅；其中，当该上盖、该中炉体与该下炉体结合而成该长晶炉时，可将放置于该坩锅的一硅原料长晶为一硅碇，且该下炉体移动机构将该下炉体移出该长晶炉下方，让成长于该坩埚内的该硅碇可被取出。
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