[发明专利]接合物体的方法和组合体

摘要

本发明涉及一种接合方法和组合体。该接合方法在彼此相对放置的接合表面将第一物体接合到平板状第二物体。要被接合的所述物体形成为定位台的一部分，具体地用于微光刻的晶片台或掩模母版台。第二物体在至少一个方向上突出超过第一物体的边缘。所述方法包括：在至少一个接合表面上上制造多个间隔体，施加粘合剂到间隔体之间的中间间隔中以及超过外部间隔体直到形成在第一物体(2)的边缘(2’)的粘合剂周边，以及接合物体通过将接合表面与间隔体接触，设置所述粘合剂周边与最外的间隔体之间的指定距离，以设置平板状物体在所施加的粘合剂收缩之后的变形的期望状态，在期望状态下平板状物体的弯曲被最小化。

主权项

一种接合方法，在彼此相对放置的接合表面(2a，3a)上将第一物体(2)接合到平板状第二物体(3)，第二物体(3)在至少一个方向(X)上突出超过第一物体(2)的边缘(2’)，要被接合的所述物体(2，3)形成为定位台的一部分，具体地用于微光刻的晶片台或掩模母版台，所述方法包括：在至少一个所述接合表面上(2a)制造多个间隔体(4a至4e，4a’至4e’)，施加粘合剂(5)到所述间隔体(4a至4e，4a’至4e’)之间的中间间隔(6a至6d)中并且超过外部间隔体(4e，4e’)直到粘合剂周边(5a)，所述粘合剂周边(5a)形成在所述第一物体(2)的边缘(2’)，以及通过将所述接合表面(2a，3a)与所述间隔体(4a至4e)接触而接合所述物体(2，3)，设置所述粘合剂周边(5a)与最外的间隔体(4e)之间的指定距离(d)，以设置所述施加的粘合剂(5)收缩之后所述平板状物体(3)的变形的期望状态，在所述期望状态所述平板状物体(3)的弯曲被最小化。